春风暖日之际,由中国硅酸盐协会,中国日用玻璃协会,上海市硅酸盐协会,东华大学,先进玻璃制造技术教育部工程研究中心,中国轻工业特种玻璃及搪瓷重点实验室共同举办,于2024.4.22-4.24在上海松江大
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2025ˉ4如何优化PECVD等离子体增强气相沉积过程以提高薄膜质量和沉积均匀性?
PECVD等离子体增强气相沉积是一种广泛应用于制备薄膜材料的技术。为提高薄膜质量和沉积均匀性,可从以下几个关键方面进行优化。一、工艺参数的精细调控1、功率控制射频(RF)功率是PECVD等离子体增强气相沉积的关键参数。适当提高功率能增强等离子体15
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